核心优势
- 新型电感耦合技术(ICP)产生等离子体,粒子密度远高于传统的电容耦合技术(CCP)
- 产生的高浓度氧自由基可高效去除样品表面碳氢污染物
- “DOWNSTREAM”清洗方式对样品无损伤,表面原始形貌被完整保持
- 工作气压范围：0.01-500Pa，不破坏被清洗腔室的高真空
- 集成式软件控制，一键点击清洗，无需用户过多操作
用户界面
- 产品描述
- 用户界面
- 性能参数
- 应用案例
-
- 商品名称: 等离子清洗机YP-20
屹东YP-20等离子清洗机主要用于样品清洗或真空腔体的清洗。用途非常广泛，其可搭的配拓展设备包括但不限于：SEM、FIB、NanoProbe、TEM及其他各类真空腔体。
- 新型电感耦合技术(ICP)产生等离子体,粒子密度远高于传统的电容耦合技术(CCP)
- 产生的高浓度氧自由基可高效去除样品表面碳氢污染物
- “DOWNSTREAM”清洗方式对样品无损伤,表面原始形貌被完整保持
- 工作气压范围：0.01-500Pa，不破坏被清洗腔室的高真空
- 集成式软件控制，一键点击清洗，无需用户过多操作
-
- 直接安装于高真空腔室的接口上无需特殊固定工具
- 可预设清洗流程，远程操控
- 用户友好型操作界面，内置不同种类样品常用清洗设置
- 样品室和样品均可被清洗
-
等离子体源参数 控制柜参数 功率 5-100W 尺寸（长*宽*高） 428*290*116mm 工作气压 0.01-100Pa 重量 6kg 气体种类 Air，O2，Ar 电源要求 110/220VAC，50、60Hz 射频频率：13.56MHz
功率消耗：220VA 特征电阻：50Ω
真空接口类型 KF40 尺寸（长*宽*高） 205*104*104mm 通讯方式 以太网 重量 2kg 软件 专用控制软件 -
硅片样品
清洗前：中心区域有明显积碳
清洗后：积碳被清洗干净
性能参数
- 产品描述
- 用户界面
- 性能参数
- 应用案例
-
- 商品名称: 等离子清洗机YP-20
屹东YP-20等离子清洗机主要用于样品清洗或真空腔体的清洗。用途非常广泛，其可搭的配拓展设备包括但不限于：SEM、FIB、NanoProbe、TEM及其他各类真空腔体。
- 新型电感耦合技术(ICP)产生等离子体,粒子密度远高于传统的电容耦合技术(CCP)
- 产生的高浓度氧自由基可高效去除样品表面碳氢污染物
- “DOWNSTREAM”清洗方式对样品无损伤,表面原始形貌被完整保持
- 工作气压范围：0.01-500Pa，不破坏被清洗腔室的高真空
- 集成式软件控制，一键点击清洗，无需用户过多操作
-
- 直接安装于高真空腔室的接口上无需特殊固定工具
- 可预设清洗流程，远程操控
- 用户友好型操作界面，内置不同种类样品常用清洗设置
- 样品室和样品均可被清洗
-
等离子体源参数 控制柜参数 功率 5-100W 尺寸（长*宽*高） 428*290*116mm 工作气压 0.01-100Pa 重量 6kg 气体种类 Air，O2，Ar 电源要求 110/220VAC，50、60Hz 射频频率：13.56MHz
功率消耗：220VA 特征电阻：50Ω
真空接口类型 KF40 尺寸（长*宽*高） 205*104*104mm 通讯方式 以太网 重量 2kg 软件 专用控制软件 -
硅片样品
清洗前：中心区域有明显积碳
清洗后：积碳被清洗干净
应用案例
- 产品描述
- 用户界面
- 性能参数
- 应用案例
-
- 商品名称: 等离子清洗机YP-20
屹东YP-20等离子清洗机主要用于样品清洗或真空腔体的清洗。用途非常广泛，其可搭的配拓展设备包括但不限于：SEM、FIB、NanoProbe、TEM及其他各类真空腔体。
- 新型电感耦合技术(ICP)产生等离子体,粒子密度远高于传统的电容耦合技术(CCP)
- 产生的高浓度氧自由基可高效去除样品表面碳氢污染物
- “DOWNSTREAM”清洗方式对样品无损伤,表面原始形貌被完整保持
- 工作气压范围：0.01-500Pa，不破坏被清洗腔室的高真空
- 集成式软件控制，一键点击清洗，无需用户过多操作
-
- 直接安装于高真空腔室的接口上无需特殊固定工具
- 可预设清洗流程，远程操控
- 用户友好型操作界面，内置不同种类样品常用清洗设置
- 样品室和样品均可被清洗
-
等离子体源参数 控制柜参数 功率 5-100W 尺寸（长*宽*高） 428*290*116mm 工作气压 0.01-100Pa 重量 6kg 气体种类 Air，O2，Ar 电源要求 110/220VAC，50、60Hz 射频频率：13.56MHz
功率消耗：220VA 特征电阻：50Ω
真空接口类型 KF40 尺寸（长*宽*高） 205*104*104mm 通讯方式 以太网 重量 2kg 软件 专用控制软件 -
硅片样品
清洗前：中心区域有明显积碳
清洗后：积碳被清洗干净