氩离子束场发射扫描电子显微镜ABSEM200
氩离子束场发射扫描电镜 ABSEM 200，作为一款创新的多功能样品制备和分析系统，突破性地将宽束氩离子枪集成于扫描电镜的样品室内，成功实现了离子束原位抛光以及高分辨电子束成像分析的无缝衔接，无需繁琐的样品转移流程极大地提升了分析效率。 ABSEM 200 所搭载的宽离子束技术，具备强大的处理能力，能够轻松应对毫米级的大尺寸样品，极大地拓宽了其应用范围。掠射角的设计可以有效降低在处理过程中对样品造成的损伤，确保了样品的完整性和原始状态。纳米级层切模块能够精准控制去层厚度，且独有的杂屑捕获装置确保系统稳定运行，有效避免了杂屑对实验的干扰和潜在风险。 ABSEM 200特别适用于环境敏感或结构复杂的样品，为用户提供了一种高效精确的样品表征解决方案。ABSEM 200，成功开启探索微观世界的崭新篇章！
所属分类：
产品
扫描电子显微镜
核心优势
技术原理
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ABSEM200双束系统将氩离子枪集成于屹东光学的场发射扫描电镜平台上，使宽束氩离子束以可调节的掠射角（3-9°）入射样品表面，通过前端的单向聚焦模块将离子束聚焦成线性束斑，提高作用于样品表面的束流密度，使得离子束的能量能够更加高效地作用于样品的微观区域。 样品台的摆动或旋转，有效地降低了窗帘效应，最大程度地减少了离子束对样品的辐照损伤。ABSEM 200还配备了高精度的挡板层切模块，能够根据科研人员的具体需求，精确去除样品表面的厚度，从而获得理想的观察深度和高分辨率的解析度。同时，独有的杂屑捕获装置可以有效收集离子束溅射中产生的各类污染物质，确保了系统运行环境的清洁与稳定。 抛光过程结束后，无需样品转移，可直接对暴露出的样品表面进行高分辨扫描成像，获得样品表面的微观形貌和结构信息。
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产品优势
用户界面
- 产品描述
- 用户界面
- 性能参数
- 应用案例
-
- 商品名称: 氩离子束场发射扫描电子显微镜ABSEM200
氩离子束场发射扫描电镜 ABSEM 200，作为一款创新的多功能样品制备和分析系统，突破性地将宽束氩离子枪集成于扫描电镜的样品室内，成功实现了离子束原位抛光以及高分辨电子束成像分析的无缝衔接，无需繁琐的样品转移流程极大地提升了分析效率。 ABSEM 200 所搭载的宽离子束技术，具备强大的处理能力，能够轻松应对毫米级的大尺寸样品，极大地拓宽了其应用范围。掠射角的设计可以有效降低在处理过程中对样品造成的损伤，确保了样品的完整性和原始状态。纳米级层切模块能够精准控制去层厚度，且独有的杂屑捕获装置确保系统稳定运行，有效避免了杂屑对实验的干扰和潜在风险。 ABSEM 200特别适用于环境敏感或结构复杂的样品，为用户提供了一种高效精确的样品表征解决方案。ABSEM 200，成功开启探索微观世界的崭新篇章！
技术原理
ABSEM200双束系统将氩离子枪集成于屹东光学的场发射扫描电镜平台上，使宽束氩离子束以可调节的掠射角（3-9°）入射样品表面，通过前端的单向聚焦模块将离子束聚焦成线性束斑，提高作用于样品表面的束流密度，使得离子束的能量能够更加高效地作用于样品的微观区域。
样品台的摆动或旋转，有效地降低了窗帘效应，最大程度地减少了离子束对样品的辐照损伤。ABSEM 200还配备了高精度的挡板层切模块，能够根据科研人员的具体需求，精确去除样品表面的厚度，从而获得理想的观察深度和高分辨率的解析度。同时，独有的杂屑捕获装置可以有效收集离子束溅射中产生的各类污染物质，确保了系统运行环境的清洁与稳定。
抛光过程结束后，无需样品转移，可直接对暴露出的样品表面进行高分辨扫描成像，获得样品表面的微观形貌和结构信息。
产品优势
-
· 界面布局清晰简练
· 人体工学键盘设计
· 配备多种安全互锁
· 操作简捷流畅
-
离子光学系统
离子束能量范围 0.5kV-5kV 离子束束流 10-500μA 束斑直径 0.3-10mm 气体类型 氩气 常用工作气压 5e-5mbar 入射角度 3-9° 离子束加工样品尺寸和要求 样品尺寸 ≤12mmx12mmx5mm 样品重量 ≤300g 层切范围 ≤200μm 层切步进 ≥8nm 电子光学系统 电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪 加速电压 0.02-30kV 电子束流 1pA-20nA（100nA选配） 放大倍率 1-2,000,000x 分辨率 1.0nm@15kV（SE），1.5nm@1kV（SE） 探测器 标配 样品室内二次电子探测器 镜筒内二次电子探测器 选配 标准背散射电子探测器 低压背散射电子探测器 样品室 仓室 内径340mm，高度260mm 全自动杂屑捕获装置 多附件接口，可加装EBSD、EDS、等离子清洗机等多种附件 样品台 五轴全自动样品台 X、Y=125mm，Z=50mm，R=360°连续，T=-5~70° 影像系统 光学导航、样品室内监控、氩离子束监控 软件及图像处理 语言 中文/英文，可定制其它语言 操作系统 Windows 图像分辨率 512*512-16k*16k 自动功能 自动聚焦、自动亮度对比度等 参数推荐 预设常用材料抛光参数 其它功能 分屏显示、图像注释和测量、图像混合、大面积图像采集和拼接等 -
能源电池领域
石墨极片 三元锂极片 磷酸铁锂极片
离子束
抛光前
离子束
抛光后
上图为机械剪切后的二次电子图像，可以看到由于剪切力的影响，层次不够分明，无法进行精确测量，获取有效的信息；下图为ABSEM200抛光后的背散射电子图像，可精确测量颗粒尺寸等信息，对界面结构和成分进行详细的研究。
上图为三元锂极片的二次电子图像，
下图为ABSEM200抛光后的背散射电子图像。
上图为三元锂极片的二次电子图像，
下图为ABSEM200抛光后的背散射电子图像。
岩石地质领域
油页岩 离子束
抛光后
离子束抛光前，由于油页岩成分的硬度不同，表面质量不够好，无法获取有效的结构信息。借助ABSEM200抛光后可获得平整的表面，暴露出更多的细节信息，如碳酸盐、硅酸盐、黄铁矿、有机孔等有机物的分布。
金属材料领域
金属钼 机械抛光后
离子束抛光后
EBSD图像 
机械抛光后，样品表面有很多细小的划痕；借助ABSEM200对金属钼抛光后，对其进行背散射电子成像，可看到材料中晶体取向存在差异；抛光后的金属钼可借助电子通道衬度直观的观察到不同晶体取向的晶粒的边界，便于对晶粒大小和取向进行统计。
生命科学领域
小鼠大脑皮层 
借助ABSEM200对大尺度（x:5.5 mm, y: 1.9mm）的小鼠脑组织样品进行表面抛光，可获得平整的表面。并对抛光后不同区域进行低压背散射电子成像，均可看到无离子损伤的神经组织的超微结构信息。
*样品来源于中国科学院苏州生物医学工程研究所张若冰教授 斑马鱼幼虫躯干 
借助ABSEM 200对完整斑马鱼躯干进行连续层切，再利用低压BSD对其进行成像，能够获得具有良好衬度、高分辨率以及较大视野的图像。通过半自动采集的多张连续图像，可实现对完整细胞结构的分析。
*样品来源于东南大学Prof. Manfred Auer
性能参数
- 产品描述
- 用户界面
- 性能参数
- 应用案例
-
- 商品名称: 氩离子束场发射扫描电子显微镜ABSEM200
氩离子束场发射扫描电镜 ABSEM 200，作为一款创新的多功能样品制备和分析系统，突破性地将宽束氩离子枪集成于扫描电镜的样品室内，成功实现了离子束原位抛光以及高分辨电子束成像分析的无缝衔接，无需繁琐的样品转移流程极大地提升了分析效率。 ABSEM 200 所搭载的宽离子束技术，具备强大的处理能力，能够轻松应对毫米级的大尺寸样品，极大地拓宽了其应用范围。掠射角的设计可以有效降低在处理过程中对样品造成的损伤，确保了样品的完整性和原始状态。纳米级层切模块能够精准控制去层厚度，且独有的杂屑捕获装置确保系统稳定运行，有效避免了杂屑对实验的干扰和潜在风险。 ABSEM 200特别适用于环境敏感或结构复杂的样品，为用户提供了一种高效精确的样品表征解决方案。ABSEM 200，成功开启探索微观世界的崭新篇章！
技术原理
ABSEM200双束系统将氩离子枪集成于屹东光学的场发射扫描电镜平台上，使宽束氩离子束以可调节的掠射角（3-9°）入射样品表面，通过前端的单向聚焦模块将离子束聚焦成线性束斑，提高作用于样品表面的束流密度，使得离子束的能量能够更加高效地作用于样品的微观区域。
样品台的摆动或旋转，有效地降低了窗帘效应，最大程度地减少了离子束对样品的辐照损伤。ABSEM 200还配备了高精度的挡板层切模块，能够根据科研人员的具体需求，精确去除样品表面的厚度，从而获得理想的观察深度和高分辨率的解析度。同时，独有的杂屑捕获装置可以有效收集离子束溅射中产生的各类污染物质，确保了系统运行环境的清洁与稳定。
抛光过程结束后，无需样品转移，可直接对暴露出的样品表面进行高分辨扫描成像，获得样品表面的微观形貌和结构信息。
产品优势
-
· 界面布局清晰简练
· 人体工学键盘设计
· 配备多种安全互锁
· 操作简捷流畅
-
离子光学系统
离子束能量范围 0.5kV-5kV 离子束束流 10-500μA 束斑直径 0.3-10mm 气体类型 氩气 常用工作气压 5e-5mbar 入射角度 3-9° 离子束加工样品尺寸和要求 样品尺寸 ≤12mmx12mmx5mm 样品重量 ≤300g 层切范围 ≤200μm 层切步进 ≥8nm 电子光学系统 电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪 加速电压 0.02-30kV 电子束流 1pA-20nA（100nA选配） 放大倍率 1-2,000,000x 分辨率 1.0nm@15kV（SE），1.5nm@1kV（SE） 探测器 标配 样品室内二次电子探测器 镜筒内二次电子探测器 选配 标准背散射电子探测器 低压背散射电子探测器 样品室 仓室 内径340mm，高度260mm 全自动杂屑捕获装置 多附件接口，可加装EBSD、EDS、等离子清洗机等多种附件 样品台 五轴全自动样品台 X、Y=125mm，Z=50mm，R=360°连续，T=-5~70° 影像系统 光学导航、样品室内监控、氩离子束监控 软件及图像处理 语言 中文/英文，可定制其它语言 操作系统 Windows 图像分辨率 512*512-16k*16k 自动功能 自动聚焦、自动亮度对比度等 参数推荐 预设常用材料抛光参数 其它功能 分屏显示、图像注释和测量、图像混合、大面积图像采集和拼接等 -
能源电池领域
石墨极片 三元锂极片 磷酸铁锂极片
离子束
抛光前
离子束
抛光后
上图为机械剪切后的二次电子图像，可以看到由于剪切力的影响，层次不够分明，无法进行精确测量，获取有效的信息；下图为ABSEM200抛光后的背散射电子图像，可精确测量颗粒尺寸等信息，对界面结构和成分进行详细的研究。
上图为三元锂极片的二次电子图像，
下图为ABSEM200抛光后的背散射电子图像。
上图为三元锂极片的二次电子图像，
下图为ABSEM200抛光后的背散射电子图像。
岩石地质领域
油页岩 离子束
抛光后
离子束抛光前，由于油页岩成分的硬度不同，表面质量不够好，无法获取有效的结构信息。借助ABSEM200抛光后可获得平整的表面，暴露出更多的细节信息，如碳酸盐、硅酸盐、黄铁矿、有机孔等有机物的分布。
金属材料领域
金属钼 机械抛光后
离子束抛光后
EBSD图像 机械抛光后，样品表面有很多细小的划痕；借助ABSEM200对金属钼抛光后，对其进行背散射电子成像，可看到材料中晶体取向存在差异；抛光后的金属钼可借助电子通道衬度直观的观察到不同晶体取向的晶粒的边界，便于对晶粒大小和取向进行统计。
生命科学领域
小鼠大脑皮层 借助ABSEM200对大尺度（x:5.5 mm, y: 1.9mm）的小鼠脑组织样品进行表面抛光，可获得平整的表面。并对抛光后不同区域进行低压背散射电子成像，均可看到无离子损伤的神经组织的超微结构信息。
*样品来源于中国科学院苏州生物医学工程研究所张若冰教授 斑马鱼幼虫躯干 借助ABSEM 200对完整斑马鱼躯干进行连续层切，再利用低压BSD对其进行成像，能够获得具有良好衬度、高分辨率以及较大视野的图像。通过半自动采集的多张连续图像，可实现对完整细胞结构的分析。
*样品来源于东南大学Prof. Manfred Auer
应用案例
- 产品描述
- 用户界面
- 性能参数
- 应用案例
-
- 商品名称: 氩离子束场发射扫描电子显微镜ABSEM200
氩离子束场发射扫描电镜 ABSEM 200，作为一款创新的多功能样品制备和分析系统，突破性地将宽束氩离子枪集成于扫描电镜的样品室内，成功实现了离子束原位抛光以及高分辨电子束成像分析的无缝衔接，无需繁琐的样品转移流程极大地提升了分析效率。 ABSEM 200 所搭载的宽离子束技术，具备强大的处理能力，能够轻松应对毫米级的大尺寸样品，极大地拓宽了其应用范围。掠射角的设计可以有效降低在处理过程中对样品造成的损伤，确保了样品的完整性和原始状态。纳米级层切模块能够精准控制去层厚度，且独有的杂屑捕获装置确保系统稳定运行，有效避免了杂屑对实验的干扰和潜在风险。 ABSEM 200特别适用于环境敏感或结构复杂的样品，为用户提供了一种高效精确的样品表征解决方案。ABSEM 200，成功开启探索微观世界的崭新篇章！
技术原理
ABSEM200双束系统将氩离子枪集成于屹东光学的场发射扫描电镜平台上，使宽束氩离子束以可调节的掠射角（3-9°）入射样品表面，通过前端的单向聚焦模块将离子束聚焦成线性束斑，提高作用于样品表面的束流密度，使得离子束的能量能够更加高效地作用于样品的微观区域。
样品台的摆动或旋转，有效地降低了窗帘效应，最大程度地减少了离子束对样品的辐照损伤。ABSEM 200还配备了高精度的挡板层切模块，能够根据科研人员的具体需求，精确去除样品表面的厚度，从而获得理想的观察深度和高分辨率的解析度。同时，独有的杂屑捕获装置可以有效收集离子束溅射中产生的各类污染物质，确保了系统运行环境的清洁与稳定。
抛光过程结束后，无需样品转移，可直接对暴露出的样品表面进行高分辨扫描成像，获得样品表面的微观形貌和结构信息。
产品优势
-
· 界面布局清晰简练
· 人体工学键盘设计
· 配备多种安全互锁
· 操作简捷流畅
-
离子光学系统
离子束能量范围 0.5kV-5kV 离子束束流 10-500μA 束斑直径 0.3-10mm 气体类型 氩气 常用工作气压 5e-5mbar 入射角度 3-9° 离子束加工样品尺寸和要求 样品尺寸 ≤12mmx12mmx5mm 样品重量 ≤300g 层切范围 ≤200μm 层切步进 ≥8nm 电子光学系统 电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪 加速电压 0.02-30kV 电子束流 1pA-20nA（100nA选配） 放大倍率 1-2,000,000x 分辨率 1.0nm@15kV（SE），1.5nm@1kV（SE） 探测器 标配 样品室内二次电子探测器 镜筒内二次电子探测器 选配 标准背散射电子探测器 低压背散射电子探测器 样品室 仓室 内径340mm，高度260mm 全自动杂屑捕获装置 多附件接口，可加装EBSD、EDS、等离子清洗机等多种附件 样品台 五轴全自动样品台 X、Y=125mm，Z=50mm，R=360°连续，T=-5~70° 影像系统 光学导航、样品室内监控、氩离子束监控 软件及图像处理 语言 中文/英文，可定制其它语言 操作系统 Windows 图像分辨率 512*512-16k*16k 自动功能 自动聚焦、自动亮度对比度等 参数推荐 预设常用材料抛光参数 其它功能 分屏显示、图像注释和测量、图像混合、大面积图像采集和拼接等 -
能源电池领域
石墨极片 三元锂极片 磷酸铁锂极片
离子束
抛光前
离子束
抛光后
上图为机械剪切后的二次电子图像，可以看到由于剪切力的影响，层次不够分明，无法进行精确测量，获取有效的信息；下图为ABSEM200抛光后的背散射电子图像，可精确测量颗粒尺寸等信息，对界面结构和成分进行详细的研究。
上图为三元锂极片的二次电子图像，
下图为ABSEM200抛光后的背散射电子图像。
上图为三元锂极片的二次电子图像，
下图为ABSEM200抛光后的背散射电子图像。
岩石地质领域
油页岩 离子束
抛光后
离子束抛光前，由于油页岩成分的硬度不同，表面质量不够好，无法获取有效的结构信息。借助ABSEM200抛光后可获得平整的表面，暴露出更多的细节信息，如碳酸盐、硅酸盐、黄铁矿、有机孔等有机物的分布。
金属材料领域
金属钼 机械抛光后
离子束抛光后
EBSD图像 机械抛光后，样品表面有很多细小的划痕；借助ABSEM200对金属钼抛光后，对其进行背散射电子成像，可看到材料中晶体取向存在差异；抛光后的金属钼可借助电子通道衬度直观的观察到不同晶体取向的晶粒的边界，便于对晶粒大小和取向进行统计。
生命科学领域
小鼠大脑皮层 借助ABSEM200对大尺度（x:5.5 mm, y: 1.9mm）的小鼠脑组织样品进行表面抛光，可获得平整的表面。并对抛光后不同区域进行低压背散射电子成像，均可看到无离子损伤的神经组织的超微结构信息。
*样品来源于中国科学院苏州生物医学工程研究所张若冰教授 斑马鱼幼虫躯干 借助ABSEM 200对完整斑马鱼躯干进行连续层切，再利用低压BSD对其进行成像，能够获得具有良好衬度、高分辨率以及较大视野的图像。通过半自动采集的多张连续图像，可实现对完整细胞结构的分析。
*样品来源于东南大学Prof. Manfred Auer